Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS JM3.
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| Titre précédent: | Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems |
|---|---|
| Collectivité auteur: | |
| Format: | Électronique Revue |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Bellingham, WA :
SPIE-The International Society for Optical Engineering,
c2007-
|
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | Available in Academic Search Ultimate. Voir à l'OPAC |
| Tags: |
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