Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS JM3.
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| Título anterior: | Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems |
|---|---|
| Autor Corporativo: | |
| Formato: | Recurso Electrónico Periódico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Bellingham, WA :
SPIE-The International Society for Optical Engineering,
c2007-
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Available in Academic Search Ultimate. Ver en el OPAC |
| Tags: |
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