Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS JM3.

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Detalles Bibliográficos
Título anterior:	Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems
Autor Corporativo:	Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
Formato:	Electrónico Revista
Lenguaje:	inglés
Publicado:	Bellingham, WA : SPIE-The International Society for Optical Engineering, c2007-
Materias:	Microelectronics > Periodicals. Microlithography > Periodicals. Microfabrication > Periodicals. Microelectronics. Microfabrication. Microlithography. Periodicals.
Acceso en línea:	Available in Academic Search Ultimate. Ver en el OPAC
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

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