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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS JM3.

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Detalles Bibliográficos
Título anterior:Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems
Autor Corporativo: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
Formato: Electrónico Revista
Lenguaje:inglés
Publicado: Bellingham, WA : SPIE-The International Society for Optical Engineering, c2007-
Materias:
Microelectronics > Periodicals.
Microlithography > Periodicals.
Microfabrication > Periodicals.
Microelectronics.
Microfabrication.
Microlithography.
Periodicals.
Acceso en línea:Available in Academic Search Ultimate.
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