Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics: materials, processing, measurement, & phenomena: JVST B. [J Vac Sci Technol B Nanotechnol Microelectron] NLMUID: 101585681
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| Formato: | Recurso Electrónico Periódico |
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| Acesso em linha: | Available in MEDLINE. Ver en el OPAC |
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