Design, Analysis, and Testing of a Novel 5-DOF Flexure-Based Alignment Stage

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chinese Journal of Mechanical Engineering = Ji xie gong cheng xue bao vol. 38, no. 1 (Dec 2025), p. 172
1. Verfasser:	Yang, Shang
Weitere Verfasser:	Li, Yuxia, Chen, Weihai, Chen, Shasha, Wang, Lei, Sun, Xiantao
Veröffentlicht:	Springer Nature B.V.
Schlagworte:	Accuracy Finite element method Actuation Alignment Sliding friction Prototype tests Printers (data processing) Interlayers Substrates Multilayers Printers Electric motors Design Offset printing Registration Screen printing Ink jet printers Degrees of freedom Actuators Inkjet printing Error compensation Position errors
Online-Zugang:	Citation/Abstract Full Text Full Text - PDF
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