Design, Analysis, and Testing of a Novel 5-DOF Flexure-Based Alignment Stage

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書誌詳細
出版年:	Chinese Journal of Mechanical Engineering = Ji xie gong cheng xue bao vol. 38, no. 1 (Dec 2025), p. 172
第一著者:	Yang, Shang
その他の著者:	Li, Yuxia, Chen, Weihai, Chen, Shasha, Wang, Lei, Sun, Xiantao
出版事項:	Springer Nature B.V.
主題:	Accuracy Finite element method Actuation Alignment Sliding friction Prototype tests Printers (data processing) Interlayers Substrates Multilayers Printers Electric motors Design Offset printing Registration Screen printing Ink jet printers Degrees of freedom Actuators Inkjet printing Error compensation Position errors
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