Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS JM3.
Guardado en:
| Título anterior: | Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems |
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| Autor Corporativo: | |
| Formato: | Electrónico Revista |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
Bellingham, WA :
SPIE-The International Society for Optical Engineering,
c2007-
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | Available in Academic Search Ultimate. Ver en el OPAC |
| Etiquetas: |
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| Publicado: | Vol. 6, no. 1 (Jan.-Mar. 2007)- |
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| Notas: | Title from cover. |
| Frecuencia de Publicación: | Quarterly |
| ISSN: | 1932-5134 1932-5150 1537-1646 |