Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS JM3.

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Détails bibliographiques
Titre précédent:	Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems
Collectivité auteur:	Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
Format:	Électronique Revue
Langue:	anglais
Publié:	Bellingham, WA : SPIE-The International Society for Optical Engineering, c2007-
Sujets:	Microelectronics > Periodicals. Microlithography > Periodicals. Microfabrication > Periodicals. Microelectronics. Microfabrication. Microlithography. Periodicals.
Accès en ligne:	Available in Academic Search Ultimate. Voir à l'OPAC
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