Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication /

Guardat en:

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Mack, Chris A.
Format:	Electrònic eBook
Idioma:	anglès
Publicat:	Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA : Wiley, [2007]
Matèries:	Integrated circuits > Design and construction. Microlithography > Industrial applications. Electronic books.
Accés en línia:	https://biblioteca.ues.edu.sv/acceso/elibro/?url=https%3A%2F%2Felibro.net%2Fereader%2Fbiblioues/179828 Veure a l'OPAC
Etiquetes:	Afegir etiqueta Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!

Internet