Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mack, Chris A.
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA : Wiley, [2007]
Schlagworte:	Integrated circuits > Design and construction. Microlithography > Industrial applications. Electronic books.
Online-Zugang:	https://biblioteca.ues.edu.sv/acceso/elibro/?url=https%3A%2F%2Felibro.net%2Fereader%2Fbiblioues/179828 Im OPAC anzeigen
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