Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication /
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| Auteur principal: | |
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| Format: | Électronique eBook |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA :
Wiley,
[2007]
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| Sujets: | |
| Accès en ligne: | https://biblioteca.ues.edu.sv/acceso/elibro/?url=https%3A%2F%2Felibro.net%2Fereader%2Fbiblioues/179828 Voir à l'OPAC |
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| Description matérielle: | xvii, 515 p. : ill. |
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| Bibliographie: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 9780470723869 |